대기압 O3-TEOS 스포츠 토토 베트맨 장치
제품 개요
- 제품 이름
-
대기압 O3-TEOS 스포츠 토토 베트맨 장치
- 일반 이름
- 스포츠 토토 베트맨 장치
- 제품 변형
- APS-1220 : 12 인치, 2 반응기, 단일 플로어
APS-8200 : 8 인치, 2 반응기, 단일 플로어
APS-6130 : 6 인치 (5 인치), 반응기 1 개, 다중 (2 또는 3) 시트
- 제품 사양
- 적용 : 반도체 등을위한 임베디드 트렌치 및 금속 인터레이어 단열재를위한 산화물 필름 형성
멤브레인 유형 : NSG (스포츠 토토 베트맨, HMDSO), BPSG, PSG, BSG
대상 기판 : SI, GAAS, Quartz
반응 부분 : 스포츠 토토 베트맨 압력을위한 가스 분산 헤드의 얼굴 아래로 필름 형성
전송 : FOUP 또는 CASSETTE의 완전 자동 단일 공급 유형
전송 용량 : 2- 반응기 구성의 10-30 시트 (필름 형성 조건에 따라 다름)
제품 설명
고농도 오존을 사용한 대기압 TheOS 스포츠 토토 베트맨 장치. 45Nm 최첨단 프로세스와 호환되는 높은 프로세스 성능과 대규모 대기압 장치 구성 덕분에 풍부한 경험을 축적했습니다. 또한, 자동 청소 메커니즘의 채택은 유지 보수 성에서 상당히 개선되었습니다.
*문의 페이지로 리디렉션됩니다
비즈니스 부서는이 제품을 감독합니다
- 신규 비즈니스 개발 부서 플라즈마 비즈니스 제작 그룹 이 카테고리 페이지로 이동
대표 영업 카운터
신규 비즈니스 개발 부서 플라즈마 비즈니스 창출 그룹
〒601-8105
2-2 Kyoto City (Kyoto Research Institute 내부) Minami-Ku, Kamitobagami Chococho
전화 075-662-8621